項目名稱:淮安澳洋順昌光電技術有限公司LED外延片及芯片產業化項目(一期)。
項目建設地點:項目選址于清河區景秀路西側、珠海路南側。
項目建設規模及內容:項目已審核備案,項目總用地面積88320平方米(以國土部門依法核定的用地面積為準),新建辦公業務用房、生產廠房、職工食堂和宿舍等建(構)筑物總建筑面積23581.05平方米。購置藍綠光外延片爐MOCVD、Sputter、DBR光學鍍膜機、電感耦合等離子刻蝕機(ICP)、氨氫氮氣純化機、光刻機、皮秒激光劃片機、AOI、氣相化學輔助沉積臺(PECVD)、勻膠機、顯影機、真空烤盤爐、金屬蒸發臺、ITO蒸發臺、快速退火爐(RTA)、XRD高分辨率衍射儀、研磨機、MOCVD尾氣處理器等各類進口和國產生產及輔助設備600臺(套)。項目以貴金屬、化學材料、藍寶石襯底、MO源、特種氣體為主要原料,LED外延片項目生產線采用的主要工藝為:藍寶石襯底?裝片?反應室?出爐?檢測?入庫;藍綠芯片項目生產線采用的主要工藝為:藍寶石襯底?裝片?反應室?出爐?檢測?入庫(外延片)?ITO鍍膜?MESA光刻?ICP蝕刻?TC光刻?蝕刻?合金?PAD光刻?Ti/Au蒸鍍?剝離?合金?SiO2沉積?PSV光刻?蝕刻?研磨?切割裂片?測試分類?目檢入庫。項目建成達產后,可形成年產LED外延片180萬片、藍綠芯片115億粒的生產能力。
項目投資及資金來源:項目估算總投資80770.71萬元,其中,建設投資75770.71萬元,鋪底流動資金5000萬元,資金來源由企業自籌及銀行貸款解決。
建設單位:淮安澳洋順昌光電技術有限公司
電話:0512-58161221